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  • Product laser

    產(chǎn)品中心
    OLED陣列激光修復(fù)設(shè)備
    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
    利用激光技術(shù)對(duì)陣列線路中O/S缺陷進(jìn)行修復(fù),改善OLED屏幕后期的亮/暗點(diǎn)線等問題,極大提升產(chǎn)品良率。
    產(chǎn)品特點(diǎn)

    支持G6代OLED TFT基板

    兼容性好,支持OLED制程中所有膜層材料修復(fù)(P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等)

    選配靈活,可根據(jù)客戶制程技術(shù)任意配置

    修復(fù)成功率≥99.9%

    精密的光路控制系統(tǒng),高精度對(duì)位及定位精度

    對(duì)接CIM系統(tǒng),智能化/閉環(huán)反饋

    應(yīng)用領(lǐng)域
    G6代OLED TFT基板
    技術(shù)指標(biāo)
    設(shè)備尺寸 3600mm(W) x 4100mm(L)x 3400mm(H)
    設(shè)備環(huán)境(潔凈度) 低于100級(jí)
    玻璃基板尺寸 支持G4.5/G6代
    激光輸出穩(wěn)定性 ≤ 2%,RMS
    平臺(tái)精度 重復(fù)定位精度≤ ±1μm;定位精度<±3μm
    薄膜類型 P-Si,Mo,Ti /Al/ Ti,ITO/Ag/ITO 等
    設(shè)備產(chǎn)能 循環(huán)周期:≤60s&帶頂升機(jī)構(gòu)
    應(yīng)用案例